微电子行业由器件和微电子质料等组成，器件和微电子质料细分为外延片、SOI片、硅抛光片、IC制造等，这些器件的生产都需要用到工业从纯水，如生产时代用的纯水水质不达标，则会直接影响装备的使用寿命，下面相识一下微电子行业用的是哪种水处理装备？
首先：
水的电阻率：凭证我国有关用水标准(GB/T11446.1-1997)，大规模集成电路元器件的生产的用水水质一样平常要求电阻率大于18MO-CM。
温馨提醒：国家的有关用水标准(GB/T11446.1-1997)水的电阻率分为四个品级：四级为电阻率0.5MO-CM、三级电阻率12MO-CM、二级电阻率不低于15MO-CM、一级 高电导率18MO-CM以上。
纯水脱盐率：微电子行业做的器件一样平常都会使用到电脑、耳机、充电宝、电视机、手机等的电子装备，因此要求纯水的脱盐率应高达99%以上。
纯水树脂：电子行业用的纯水树脂要求在95%以上。
其次：
超纯水装备：接纳的是预处理、反渗透手艺、edi超纯水手艺以及后级处理等要领的水处理工艺，可制取出水质电阻率0.5~18.2MΩ.CM或以上，
脱盐率：edi超纯水手艺可去除水中99%左右的盐因素。
超纯水装备可以将水中的导电介质、细菌、矿物质、胶体物质、气体、微生物等去除至很低水平的水处理装备。
因此微电子行业的工业纯水是可以用超纯水装备制取的。