早期超纯水的需求主要是来自觉电、医药化工、造纸等行业
，水质要求相对较低
，其制备只要接纳离子交流
，该要领的主要弱点是化学药剂再生
，既贫困又不经济
，并且由于强行树脂对一样平常有机分子除去效果差
，出水中TOC含量高
，随着半导体工业法杖
，对超纯水质量要求提高
，从而大大的推动了纯水手艺的生长
，到了上个世纪末
，膜手艺获得了普遍的应用
，微滤
，超滤
，电渗析和反渗透手艺先进的水处理手艺获得了飞速的生长
，膜法制备纯水取代了古板的离子交流器系统
，解决了TOC问题
，知足了电子行业对纯水质量的要求。

 

   古板超纯水制备工艺流程:原水—多介质过滤器—活性炭过滤器—一级除盐—混床—超纯水

 

   膜法超纯水制备工艺流程:原水—超滤—反渗透—EDI—超纯水

 

   在膜法工艺中
，超滤
，微滤替换澄清
，石英砂过滤器
，活性炭过滤器
，除去水中的悬浮物胶体和有机物
，降低浊度
，SDI
，COD等
，可以实现反渗透装置对污水回用的清静
，高效运行
，以反渗透替换离子交流器脱盐
，进一步除去有机物
，胶体
，细菌等杂志
，可以包管反渗透出水知足EDI进水的要求
，以EDI取代混床深度脱盐
，使用电而不是酸碱对树脂再生
，阻止了二次污染。